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台積電、台灣半導體靠他神助攻 一文認識浸潤式微影之父

清大半導體學院院長林本堅。記者葉信菉/攝影
清大半導體學院院長林本堅。記者葉信菉/攝影

本文共1073字

經濟日報 記者李珣瑛/新竹報導

清大半導體學院院長林本堅技術底子雄厚,當年他以「水」作為介質,發展浸潤式(Immersion)微影技術,用一滴水改變了全球半導體高階製程發展,不僅奠定台積電與台灣半導體領先地位,也為早年規模仍相對小的艾司摩爾(ASML)開啟新契機。

林本堅並串起艾司摩爾與台積電的合作,艾司摩爾掌握關鍵技術後,成為台積電發展先進製程的一大助力。如今,他從台積電回到校園,協助台灣培育半導體人才,要為台灣半導體產業界奠定更深厚的基石。

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