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儀科中心 秀半導體自研自製實力

本文共708字

經濟日報 劉靜君

國研院儀科中心在國科會政策引領及前瞻基礎建設計畫支持下,投入半導體高階儀器設備及關鍵零組件的自研自製,協助國內半導體設備供應鏈在地化發展,4日至6日舉行的「臺灣國際半導體展」(SEMICON Taiwan 2024)展現近期研發成果,安排真空技術與光學領域專家到場與業界人士對談,了解產業需求及技術瓶頸。

國研院儀科中心長期發展真空鍍膜技術,因應半導體元件製程與先進晶片封裝技術的應用發展,已提供學界與業界多套自研自製真空鍍膜系統;近年更與國內半導體設備大廠合作,協助產業研發下世代製程關鍵設備。

除了開發半導體產業未來發展所需的關鍵儀器設備,國研院儀科中心也積極投入半導體二維材料製程開發與驗證,提供產學界研發新穎材料時的測試平台;同時培育下世代半導體技術高階研發人才,希望藉此推動國內高階關鍵儀器設備的自主研發,將上游設備與製程的研發成果完整銜接至下游產業應用。

此外,國研院儀科中心開發的多樣態客製化光學系統及元件亦於「臺灣國際半導體展」現場展示,其中,「三維光場成像系統」可於2秒左右完成三維影像解算,應用在半導體封裝及機密機械的自動化三維取像與檢測;「高光譜顯微影像分析儀」以人工智慧為影像分辨核心,透過影像深度學習的方式分辨不同材料的光譜資訊,能幫助微奈米材料顯微影像分析。儀科中心也安排了光學及真空領域的研究人員到場與業界人士對談,針對產業技術發展的痛點進行專業討論交流。

國研院儀科中心配合國家政策支援科技發展,建構跨領域整合的儀器科技研發服務平台,以驅動儀器設備在地化為使命;期望透過此次展覽及技術交流,展示臺灣自主研發半導體儀器設備的能量,吸引更多業界人士投入儀器設備產業,厚植及深耕本土基礎儀器技術。



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