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日本官方積極爭取台灣與日本半導體深化合作，日本自民黨半導體戰略推進議員連盟會長甘利明今（6）日出席2022年台日科技對話：半導體關鍵技術佈局與人才育成論壇提到，日本官方爭取更多半導體繼續在日本投資，其中目標爭取台積電日本擴建二廠並在生產期間導入EUV。
台積電與ASML對於相關日本議題暫時沒有回應，甘利明在活動期間也提到，日本官方也積極和荷蘭方面積極溝通關於更多先進製程合作計畫。
另外針對先前日本經產省拋出年內設立日美合作次世代晶片研究開發機構「技術研究組合最先端半導體技術中心」（LSTC）並將對豐田汽車等日企出資設立、目標量產2奈米以下次世代晶片的新公司「Rapidus」提供700億日圓補助金一事，甘利明也特別補充說明，該開放平台不會排斥台灣夥伴加入。
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