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微影設備龍頭廠商ASML日前公布財報，其中備受關注的是在手訂單/尚未出貨訂單（backlog）達到創紀錄的新高，其中是EUV占比過半，同時主要是來自邏輯應用需求仍強，記憶體則較弱。
法人分析，ASML 到 2022 年年底在手訂單達到創紀錄的 404 億歐元。其中 EUV 占比55%，而這些EUV 中邏輯應用75%，記憶體客戶約25%，推測是在先進製程需求增加下，台積電、三星晶圓代工和英特爾仍積極購置機台所致。另外EUV設備需求成長也同步帶動配套DUV設備需求。
此外ASML計畫EUV微影設備系統持續升級，2023 年年底即將推出新款High-NA NXE:3800E， 有利於ASML未來毛利率提升，公司樂觀看待中長期54%-56%的毛利表現。
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