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台積電再生晶圓供應商 產能滿載

本文共421字

經濟日報 記者鐘惠玲、李珣瑛/台北、新竹報導

台積電傳出近期啟動2奈米試產前置作業,由於2奈米技術更難、成本也比3奈米高,為優化良率、降低前置期成本,對再生晶圓需求將暴增,台積電再生晶圓主要供應商中砂(1560)扮演關鍵角色,身價也跟著水漲船高,目前再生晶圓產能維持滿載。

業界人士分析,矽晶圓在晶圓廠的應用,可區分為直接用於半導體加工的正片,也就是由環球晶、台勝科等廠商供應的矽晶圓;但量產前的試產作業因還需要調校眾多參數,考量成本,不可能用價格較高的正片,而是以再生晶圓作為測試晶圓片,包括控片、檔片等應用。

換言之,再生晶圓是晶圓廠進入量產前重要材料,用於監控製程參數與生產環境等,同時減少成本消耗,是提高良率、降低成本的關鍵,伴隨製程愈先進,晶圓光罩層數也不斷墊高,生產過程更複雜,也讓黃光區、金屬薄膜區等設備測試需求增加,再生晶圓消耗量暴增。

據悉,過往65奈米製程,每十片正片需要耗用六片檔控片,28奈米以下製程,每十片正片需要15至20片檔控片,3奈米、2奈米使用量更是持續增加。

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