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源台探針卡光學檢測設備 獲tsmc指名採購

本文共2093字

經濟日報 吳青常

源台精密科技探針卡光學量測及調針機檢測(PIS)再進化,第四代機加入3D雷射檢測強大功能,26,840根針、只需240秒即完成掃描運算,是目前市場領先可檢測PIN height的設備,單機台、雙功能,速度快、快速掃描、調針,檢測完成立即調針,機台精度<1μm精度高,獲tsmc指定採購使用。

源台精密科技探針卡光學量測及調針機檢測(PIS)再進化,第四代機加入3D雷射檢測...
源台精密科技探針卡光學量測及調針機檢測(PIS)再進化,第四代機加入3D雷射檢測強大功能。源台精密/提供

源台精密探針卡光學檢測PIS系列調針檢測設備,提供半導體產業圓探針卡 (Probe Card)製程使用,可應不同探針卡種類客製,且不用改變現有半導體產業製程與習慣,可大幅簡化作業流程、節省成本,不用再採購昂貴機台,探針卡檢測、調針一次到位,不用再人工目視測,挑針一次到位,全自動化系統處理、不用依靠專業師傅挑針,PIN檢測包括:missing、broken、placement、offset、size、height等。

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源台精密董事長施騰秋指出,現行半導體產業針卡挑針是必要的製程之一,而每次量測都需要做完整量測,需花費固定的時間,針卡挑針更需要有經驗的工作人員目視臆測針卡位置,調整完針卡後,要再做一次完整的量測作業,不僅費時、費工、成本高,而且進口機台價格昂貴。

為提升半導體產業製程能力,源台精密研製探針卡光學量測及調針機,除第一次作完整的光學影像量測,後續只要再確認針卡偏移的部分,可有效大幅減少量測時間,顯微鏡中心點即為針卡之正確位置,清楚呈現針卡偏移的方位,挑針不用再臆測。挑針完畢後,只要確認先前偏移針卡的位置,無需再作完整的量測,大幅節省作業時間,不改變現有半導體產業作業及習慣流程,快速、精準及節省成本。

半導體產業為台灣主要的經濟指標,當設計製作好的晶圓,為了測試其功能的正確性以及準確性,必須經過一測試階段的電性測試,而電性測試的重要元件,就是所謂的探針卡Probe Card。

探針卡上有許多的探針,用以接觸晶圓上的測試點位,以進行電性的測試,在重覆使用的過程當中,探針卡上的測試探針會有歪斜或是彎曲的現象,一片探針卡價值不斐,為了延長探針卡的使用壽命,使用手動調針機將有問題的探針位置修正,事實上,最大困難點在於有如大海撈針一樣,需花費大量「盲目找針」時間,及檢察、調整,一來一回的時間。

源台精密將「找針」作業以精密的定位計達成,將檢察機與量測挑針機結合,透過精密定位,檢察錯誤的位置直接可以傳送到調針機的視野下方,調針人員可直接在視野下進行調整,無需反覆尋找針的位置。調整後,可以傳遞到檢察機下進行檢測,省時省人力。

在檢察機的部份,施騰秋強調,源台的專長在非接觸式影像量測設備,使用影像量測取代電性量測的檢查設備,量測儀器與Probe Card調針機「二機一體」的完美結合、高CP值,並在節省成本、簡化作業以及人體工學設計,該機通過第三方CE測試 (TCF NO: ARCS-2014001-A1),使用軟硬體三元極限裝置,透過軟體、極限開關、鈑金護蓋以及止擋三重防護機制,具高安全性、並為客戶創造高附加價值。

源台精密秉持「台灣第一、世界一流」的經營理念,深耕CNC非接觸式影像量測儀領域技術,是台灣唯一通過大行程影像量測儀與投影儀TAF認證之二級校正實驗室,也是台灣中部唯一通過投影儀CNLA認證,且符合ISO/IEC17025之二級實驗室驗證,堪稱全球高階非接觸式影像量測儀器研製的指標性大廠。

源台精密電話(04)2350-3837。

網址:www.arcs.tw

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