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azbil半導體先進製程神隊友

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經濟日報 劉靜君

獨家演算法有效高速控制升溫及發揮節能效果 全球各大設備商與用戶實績豐富

圖形化顯示控制器,型號:C7G。台灣阿自倍爾/提供
圖形化顯示控制器,型號:C7G。台灣阿自倍爾/提供

隨著半導體的集積度朝向高密度化、高精度化發展,些微的溫度變化對品質的影響越來越大,注意到這些環節的企業,會以超高精度或超高速的控制,來提升品質或生產力,以做出區隔與差異。

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在半導體的光刻製程中,些微的溫度變化會影響晶圓製造。因此,腔體(Chamber)內必須維持極高精度的溫度穩定。過去,溫度的穩定性在1℃內即可,如今,高精度標準要低於0.01℃。因應市場需求,已開發出更高精度的溫度調節器。

台灣阿自倍爾公司(azbil)開發、銷售指示分解能為1/1000℃的溫度控制器。透過超精密的溫度量測、控制,能察覺出以往從未察覺的現象。

另外,在半導體製程的成膜步驟中,追求晶圓加熱處理的高速化,不只為了要抑制不純物的變化,以提高品質,還期望能透過縮短處理時間,來提升處理量。在高速升溫的情況下,現場常因過衝量等溫度過高造成加熱器故障。azbil獨家演算法能有效高速控制升溫,並達成節能效果。

azbil在半導體的先進製程中,在全球都有各大設備商與用戶的優良實績。從晶圓製造、長晶、拉晶,前段製程的光阻塗佈、蝕刻,晶圓加工時的成膜蒸鍍、濺鍍,到後段封裝,測試製程的封膠、焊線,以及廠務端的廢棄廢液除害系統,都有azbil的改善提案實績。

台灣阿自倍爾公司在國際半導體展(南港展覽1館4樓N區0038攤位)展出,有專人提供解說服務。

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