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永光化學 實現晶圓研磨液循環利用

本文共762字

經濟日報 徐妤青

全球半導體大廠吹起永續風潮,追求ESG(環境社會治理)目標,對此,永光化學總經理陳偉望表示,永光已開始與客戶共同投入研發,讓碳化矽基板研磨液破天荒實現「循環利用」,還沒有同業廠商有此做法,「覺得很有意義。」

永光化學總經理陳偉望表示:「『環保』比你、我賺多少這事情來得更重要。」徐妤...
永光化學總經理陳偉望表示:「『環保』比你、我賺多少這事情來得更重要。」徐妤青/攝影 

陳偉望表示,研磨晶圓的殘液,經過永光化學專人量測,可直接在客戶端進行過濾、成分微調及活化,以各種方式來促進循環再利用,但客戶肯定因此減少訂購,存在利益衝突,不過他強調:「『環保』比你、我賺多少這事情來得更重要。」

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永光化學長期以來便致力發展「綠色化學」,在了解客戶端半導體製程裡的成分後,「把該拿掉的拿掉、該添加的添加,」讓研磨液回復原本的活性,可循環利用較多次數,或者進一步為客戶建置專門產線來處理最終的廢棄物,取代交給廢棄物處理廠。

要做到上述程度,有賴客戶端的資訊分享,陳偉望透露,客戶對於對環保事項很有誠意,分享資訊的意願很高,雙方已談到合作製程的開發設計,將評估成本效益、量產、法規之後共同努力。

永光化學作為光阻劑、研磨液等等產品供應商,9月參加國際半導體展(SEMICON Taiwan),除了訴求產品應用廣度,包括化合物半導體的前段、後段製程,也關注新市場的拓展,陳偉望提到,以目前國際情勢來說,中美貿易戰持續4年至今,歐洲也出現地緣政治衝突,因此在高科技製造方面,歐美均不希望集中於東亞,去中國化及去中心化的產業布局正在形成,「這是永光的機會!」永光在歐洲及美國的子公司正密切注意市場變化。

在電動車、車用電子及5G通訊的需求下,耐高電壓、高電流、高頻率的晶片供不應求,電晶體愈做愈小顆,晶圓則愈做愈大片,陳偉望形容,6吋晶圓廠在台灣就像博物館,8吋廠也很少有人提了,但是隨著電動車與車用電子需求持續上揚,歐美市場對於6吋及8吋廠的投資反倒很熱,永光具備多項成熟產品可對接,有望複製到歐美市場,爭取這波商機。

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