源台PIS-3030Z探針卡檢測維修系統獲全球半導體大廠tsmc指定採用

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2023/08/31 08:54:48

經濟日報吳青常

源台精密科技PIS-3030Z探針卡檢測維修系統，首創採用雷射進行探針卡的檢測，提供使用者快速、精確且全面的取得每一根針的針徑、針位、針高 (長)與整盤針的水平狀況，且能透過剖線圖模擬出針尖樣貌的變化，搭載立體顯微鏡（OM），可直接點選異常針進行維修工作，為全球半導體大廠tsmc指定採購使用。

PIS-3030Z探針卡檢測維修系統，強大的功能在40分鐘內能完成60*50mm範圍的針卡掃描及運算(不管此範圍內的針數)，堪稱領先市場可檢測PIN height的設備，單機台、雙功能，檢測速度快、快速掃描、調針，檢測完成立即調針，機台精度<1μm精度高，提供半導體產業晶圓探針卡(Probe Card)使用，可應不同探針卡種類客製，且不用改變現有半導體產業製程與習慣，可大幅簡化作業流程、節省成本，探針卡檢測、調針挑針一次到位，全自動化系統處理，PIN檢測包括：missing、broken、placement、offset、size、height等。

半導體產業針卡挑針是必要的程序之一，而每次都需要做完整量測，需花費固定的時間，針卡挑針更需要有經驗的工作人員目視臆測針卡位置，調整完針卡後，要再做一次完整的量測作業，不僅費時、費工、成本高，而且進口機台價格昂貴。

快速、精確的製程，攸關半導體產業全球競爭力，源台精密研製探針卡檢測維修系統，除第一次需作完整的量測，後續只要再確認針卡偏移的部分，可有效大幅減少量測時間，顯微鏡中心點即為針卡之正確位置，清楚呈現針卡偏移的方位，挑針不用再臆測。挑針完畢後，只要確認先前偏移針卡的位置，無需再作完整的量測，快速、精確可大幅節省作業時間。

半導體產業為台灣主要的經濟指標，當設計製作好的晶圓，為了測試其功能的正確性以及準確性，必須經過一測試階段的電性測試，而電性測試的重要元件，就是所謂的探針卡Probe Card。

探針卡上有許多的探針，用以接觸晶圓上的測試點位，以進行電性的測試，在重覆使用的過程當中，探針卡上的測試探針會有歪斜或是彎曲的現象，一片探針卡價值不斐，為了延長探針卡的使用壽命，使用手動調針機將有問題的探針位置修正，事實上，最大困難點在於有如大海撈針一樣，需花費大量「盲目找針」時間，及檢察、調整，一來一回的時間。

源台精密將「找針」作業以精密的定位達成，將檢測機與挑針機結合，透過精密定位，檢察錯誤的位置直接可以傳送到調針機的視野下方，調針人員可直接在視野下進行調整，無需反覆尋找針的位置。調整後，可以傳遞到檢察機下進行檢測，省時省人力。

在檢測機的部份，源台的專精在非接觸式影像量測設備，量測儀器與Probe Card調針機「二機一體」的完美結合、高CP值，並在節省成本、簡化作業以及人體工學設計，該機通過第三方CE測試(TCF NO: ARCS-2014001-A1)，使用軟硬體三元極限裝置，透過軟體、極限開關、鈑金護蓋以及止擋三重防護機制，具高安全性、並為客戶創造高附加價值。