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贏得未來半導體產業致勝關鍵 博士門先進製程光罩控濕儲存設備

本文共761字

經濟日報 楊連基

半導體前端應用廠商博士門(Bossmen)將於9月6日至8日,在台北南港展覽館二館1樓(攤位:P區5200),參加國際半導體展(SEMICON Taiwan 2023)的展出,現場將會展出針對半導體先進製程需求最新設備,包含奈米級光罩儲存櫃、台車系列、溫濕度監控系列2HTDP等產品,解決各種保存問題。

博士門公司表示,疫情衝擊全球經濟,半導體產業卻逆勢成長,疫情時代下對於晶片需求激增,光罩業產能持續滿載,國內外科技大廠,紛紛投入資金進行製程升級,精密的光罩儲存設備,可提升產品良率及效率,降低生產成本,成為半導體產業致勝關鍵。

博士門精密潔淨奈米級光罩儲存櫃。 博士門/提供
博士門精密潔淨奈米級光罩儲存櫃。 博士門/提供

博士門精密潔淨奈米級光罩儲存櫃,經工研院檢測確實可節省80%以上氮氣流量,可大幅提高光罩保存的可靠度及效度,符合環保節能的綠能規範,而可視化氮氣及溫濕度顯示及記錄功能,更榮獲第19屆國家品牌玉山獎「最佳產品」殊榮。適用EUV POD/ RSP 200/光罩盒,以獨立的濕度值回饋,確保每一個奈米級光罩盒內有氮氣進出,確實執行乾式清潔及保持光罩盒內乾燥,並以濕度值設定,氮氣智慧節能系統來控制氮氣「啟動」與「關閉」的作用。

博士門光罩氮氣儲存櫃。 博士門/提供
博士門光罩氮氣儲存櫃。 博士門/提供

另外,博士門光罩氮氣儲存櫃可以放置兩種不同光罩盒,上方提供單盒存放為氣密區,整區填充氮氣以及溫濕度監控,下方開放區提供5片裝POD存放,每個POD單獨填充氮氣。面板可顯示下方每層氮氣總流量,智慧型感測下方儲位,如無POD便不會填充氮氣,可精準節省氮氣流量,獨立的溫濕度值回饋,精準掌控光罩潔淨品質,提高製程的良率。

盡管經歷3年疫情,博士門一直以來以「創新與永續」為產品核心價值,擁有軟體、韌體及機構專業研發團隊,多達40多項研發專利,30年來跟著半導體產業趨勢不斷創新,成功為各產業客戶解決各種保存問題,並落實ESG永續發展,掌握良率、控制風險,是可靠儲存設備的最佳選擇。

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