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偉勝乾燥推新品 智能無塵無氧工業烤箱獲業界關注

本文共764字

經濟日報 楊連基

甫結束的2023年台北國際自動化工業大展,偉勝乾燥工業展出的新品中,主打智能監控、節能減碳的智能無塵無氧烤箱,廣受業界關注與詢問,也受到許多欲投入高階或自動化製程的產業先進蒞臨參觀。而該產品可應用於半導體製程的光阻軟烘烤、顯影硬烘烤、清洗後烘乾或環化乾燥製程,因此,偉勝乾燥將於9月6~8日在南港展覽館二館1F(P區展位5512),參加國際半導體展(SEIMICON Taiwan 2023)的展出。

偉勝乾燥工業的智能無塵無氧烤箱。 偉勝乾燥工業/提供
偉勝乾燥工業的智能無塵無氧烤箱。 偉勝乾燥工業/提供

這款智能無塵無氧工業烤箱,搭配EFEM或機械手臂,除原有SECS/GEM通訊協議外,藉由搭載IPC、觸控螢幕及獨立應用程式,讓人機界面完整整合,可將機台相關數據上傳至伺服器並搭配智慧監控鏡頭,提供客端連接智慧工廠,整合物聯網與無人工廠的需求,達成無人工廠自動化目的。同時,爐門採自動門設計、兩箱可獨立控制,一箱可烘烤50片晶圓,並以使用者角度來設計思考,搭配鍵盤抽屜、文件/紙張收納隔層,方便使用者操作。

而在節能減碳與綠色製程中,該產品具有專利多層風門結構,提高氣密封性達99%以上,同時強化機台保溫設計,提升20%~25%的節能效果,並搭配備新的水冷系統,每分鐘冷卻效能平均可達4.5℃/分,增加UPH產出,全機使用達60%可回收材料,並結合廢熱回收模組及Solvent回收,可回收25%有機物溶劑,不僅有效減少有機物附著腔體,大幅減少後續的維護時間,確保產品良率,更進一步達到節省用電,降低環境汙染,達成環保效益。

偉勝乾燥工業,專注於自動化乾燥設備的研發、設計、製造與整合,近年更專注於國、內外知名科技大廠自動化乾燥製程,並提供客製化的服務,以因應產業各階段不同烘烤、固化製程需求,並配合客戶製程空間應用需求,進行專業的規劃設計,來滿足客戶需求。因此,若欲更進一步了解偉勝的產品與服務,可至國際半導體展的展會現場洽詢。

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