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東台精機(4526)表示,今年參與國際半導體展,以「G2C+聯盟」形式與其他廠商聯展,展位在南港展覽館1館4樓N0462,針對晶圓平坦化與半導體先進封裝提出相關應用與解決方案,期望創造吸睛人潮。
東台這次展出的亮點設備為晶圓減薄研磨機,用於晶圓研磨加工,機台為單軸工作站設計,適合小批量生產;此外,使用液靜壓主軸驅動,確保加工執行穩定性,並可提供高精度、高效率的晶圓減薄操作,使加工過程更加精確可靠;東台團隊也持續改進與創新設備裝置,以滿足不斷變化的市場需求和技術挑戰。
在雷射與機械加工系統,搭配SECS/GEM通訊功能可直接用於半導體製程產線上。東台於會場展示奈秒/飛秒雷射加工機(型號TLCU-500/TLFS-500),不僅可用於晶圓Notch切割應用,也可用於鑽孔(Molding Compound)等製程,具有多樣化加工能力;在晶圓封裝過程中,提供高精度、高效率及高能量雷射源集中在工件物上,快速且準確地加工出所需的結構,進而提供穩定和可靠的製程結果;其搭載CO2/UV雙光源可以提供多種不同波長光源,使加工範圍更廣;同時,多工站製程可以同時處理數個工序,提高生產效率。
此外,東台精機DCRM系列成型機,是一種具有高轉速主軸和穩定的CNC控制器機械,與一般晶圓切割機(Dicing Saw)不同,可以完成任意外形切割任務,提高材料利用率,並實現非方形晶片加工。成型機高轉速主軸可提供更高的切削速度和更精確的切削效果。
東台精機表示,先進封裝與半導體生產效率是未來帶動半導體產業發展的主要關鍵,東台精機與東捷科技「雙東」,以晶圓平坦化技術、雷射加工技術加上工廠自動化解決方案,透過SEMICON Taiwan,提供國內外半導體企業,完整有效益性的整體解決方案。
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