馗鼎奈米蝕刻設備 高速均勻

國內常壓、低壓電漿設備大廠-馗鼎奈米科技，以優越電漿開發能力及鍍膜技術基礎下，致力研發大氣電漿、抗污、抗菌、抗指紋鍍膜技術及連續式捲繞傳輸製程（roll to roll, RTR），更在GOG、PEDOT、EMI coating、OLED、micro LED等新製程開發，均有所斬獲。

在物聯網及AI世代來臨趨勢下，晶片異質整合需求逐漸興起，也帶動先進封裝等技術需求發展，馗鼎奈米科技在既有低壓反應性離子蝕刻設備（Reactive ion etching, RIE）基礎下，搭配專利的電極設計、氣體流場均勻化的配置、基板載台的流體冷卻系統，達到具有高蝕刻速率、高均勻性與低製程溫度的特點，及高深寬比與非等向性蝕刻等的製程需求，適合用於半導體、封裝與光電等相關領域，進行乾式蝕刻（Etching）或灰化（Ashing）等製程。

另一款連續式的低壓電漿清潔設備（In-line Plasma Cleaning Equipment），其特點為可全自動化生產，降低人工取放的動作，進而減少產品受到污染的風險。搭配專利的水冷式電極與氣體流場設計，可提升產品的清潔效果與均勻性，因此廣泛應用於半導體、封裝與光電等相關領域進行清潔、活化、改質或粗糙化等製程，例如Chip、die、lead frame等表面清潔與改質，或underfill、wire bonding、molding前的清潔處理等。

其中，該公司所生產的連續式（In-line）電漿清洗設備，於IC封裝上，有廣泛的應用，例如固晶、打線或封膠等製程前的表面清潔。且該設備具有快速、高均勻性等特性，加上可調整式多軌設計，搭配自動分料系統，可提供清潔效率與可靠度，同時也讓生產規畫更具靈活性。

由於馗鼎奈米科技具有與產業共同技術研發能力，不論在觸控面板及軟、硬板製程上，皆有長足開發能力，且布局多年奈米材料，於各個產業包含面板、半導體產業不斷尋找出路及開發應用領域。

馗鼎奈米科技電話（06）232-3927。