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Tokyo Electron（TEL） 為全球領先、亞洲最大的半導體製造設備商，為兼顧先進科技和永續發展，著重四大關鍵技術，並將數位轉型導入半導體製造設備生命周期，TEL集團GM洛彼得和Fellow關口章久在SEMICON Taiwan期間受邀來台，6日以「AI時代的半導體製造願景」為題，在IC Forum進行專題演講，歡迎各界蒞臨聆聽。
TEL投入1.5兆日圓，加大未來5年研發投資力道，並由永續角度出發，推出高效能、低功耗的四大半導體製造技術，協助客戶超前部署，邁向永續。以後段封裝的「先進雷射分離製程 （ XLO） 」為例，以精準雷射在晶圓接合工序薄化晶圓，建構3D多層堆疊製程應用，也可最佳化傳統晶圓薄化製程時的隱裂缺陷，省去修復步驟，較傳統濕式研磨節省90%純淨水，且分離的晶圓可回收再利用，大大降低成本。
AcreviaTM應用在前段EUV曝光及乾蝕刻程序，利用獨特氣體團簇束技術，提供前所未有的精準、低損傷處理，提高產量、降低EUV曝光成本。另外，TEL的極低溫蝕刻技術和雷射晶邊修整系統，可將先進半導體製造推向永續。
AI應用和半導體設備發展相輔相成，機台製造出先進晶片，先進晶片則促成機台生命周期的數位轉型。TEL提出以數位孿生進行測試、製程模擬，並以機器人完成裝配，量產後機台自動蒐集參數並進行診斷，利用演算法完成優化。數位轉型後的半導體製造設備生產，大幅提高裝配成功機率、縮短裝機時間、確保工安並降低運營成本，是不可忽視的趨勢。
TEL台灣子公司東京威力科創總裁張天豪表示，台灣半導體產業在技術、人才與供應鏈都在世界扮演關鍵角色，推動未來人工智慧產業創新。TEL與客戶及產業夥伴在台緊密合作、布局全球，持續推動半導體產業蓬勃發展。東京威力科創設立台灣技術中心、台灣訓練中心，台南營運中心預定12月3日開幕，藉此強化半導體供應鏈，共同實現永續未來。
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