聯毅監控系統 機械手臂好拍檔

全球半導體景氣回溫，人工智慧及高效能運算蓬勃發展，帶動AI伺服器及GPU的強勁需求，客製化的AI運算晶片與支援AI運算的網通晶片也高速成長。化合物半導體因其材料特性，在通訊、功率、車用、儲能等應用領域也深具發展潛力。

聯毅科技專業提供機械手臂（Robot）維修，各製程設備所使用的手臂，80%均有維修經驗，並且快速完修，讓客戶產能不中斷。副總經理蔡素蘭（Rita）表示，從晶圓到芯片，要經過許多複雜的製程，均有賴機械手臂將晶圓快速準確運送到各製程站。晶圓易碎且價格高昂，傳送的穩定性至關重要。

去年起，聯毅推出研發多時的外掛式機械手臂監控系統，進一步優化服務，成為機械手臂的最佳搭檔。具有提前預知機械手臂狀況的「預警功能」，方便設備工程師提前規畫保養，降低機台當機及因異常停機導致堆貨損失，達到產能極大化，受到高度肯定，已廣泛應用在3、5、7及28奈米製程。

蔡素蘭表示，這套監控系統用在真空機械手臂偵測電流CIP，外掛一組電控盒，偵測四軸作動時的電流值趨勢變化，正常運作時，訊號波動雷同，反之波峰會明顯改變；偵測的電流值轉換成0~5V類比量，接至E-sensor上拋FDC系統。用在大氣式機械手臂 Z-axis Shift，在Load Port上下方架設位移感測器，偵測Mapping的最高及最低位置，同時分接動力線擷取Z軸電流值；外掛的電控盒偵測到位置超出限制範圍，即觸發控制器的Interlock，所得數值經Ethernet上拋FDC系統。

該監控系統亦適用於馬達。蔡素蘭說，監控爐管設備的馬達，透過外掛電控盒偵測步進馬達的電流值及追從差的趨勢變化。正常運作時訊號平穩，反之產生波峰；波峰超出限制範圍會觸發機台的Interlock；偵測的電流值及追從差會轉換成0~5V類比量，接至E-sensor上拋FDC系統。

20年來，聯毅致力提升技術，深諳各品牌機械手臂的特性，了解半導體設備及製程，技術領先業界。一通電話即可享有從下機到上機的一條龍服務。聯毅也重視ESG，由下至上澈底落實環境保護、社會責任及公司治理，強化社會連結，擴展正向影響力。總經理林仲章表示，聯毅邁向永續發展，具體化推動綠色節能、關懷弱勢、提升管理風險，員工及客戶都能感受到實際作為，因而帶來更多合作機會。